本报记者 张佳琪

　　“这是我们在原子级制造领域取得的一项达到国际领先水平的成果。这套系统能够‘看’到并操纵原子。”中科艾科米（北京）科技有限公司（简称中科艾科米）市场总监龚金华指着展品介绍。

　　昨天，原子级制造“院士专家城市行”活动北京站创新发展研讨会在怀柔科学城举行。活动现场，一台闭循环无液氦低温扫描探针显微镜系统模型吸引了不少嘉宾驻足。指挥这台显微镜的，就是中科艾科米联合中国科学院物理研究所研制的智能扫描探针显微成像控制系统。

　　“这套系统就相当于扫描探针显微镜的‘大脑’，专门用来指挥现场展示的这台精密仪器，完成原子级制造。”龚金华表示，过去这类高端控制系统长期依赖进口，如今这一局面被打破。“它不仅能够精准控制扫描探针显微镜，让科研人员借此‘看’到原子、操纵原子，还可接入智能算法，未来有望让部分实验步骤自动完成。”

　　从能够观察原子尺度结构的显微设备，到为航天器加工高精度部件，原子级制造的应用空间正在打开。

　　所谓原子级制造是指通过对原子的规模化精准操控，将制造过程的可控精度提升至单个原子或其基元（如原子团簇、原子层）的水平。“原子级”的空间尺度通常指0.1纳米到1纳米的范围。

　　现场，围绕原子级制造“设计、构筑、加工、检测”四个关键环节的十大产品成果发布。这十大产品成果包括：原子级模拟至介观尺度的机器学习力场、单层晶圆可控化学气相沉积（CVD）制备装备、原子制造的范德华挤压技术、基于定向组装的原子级构筑技术、原子级晶圆抛光技术与装备、晶圆原子精度制造核心装备、原子力显微成像、智能扫描探针显微成像控制系统、原子层键合让二维半导体“无缝对接”工业应用、应用于晶圆与二维材料的原子级拉曼质量分析技术。

　　除了展示产品，大会还发布了一批面向产业需求的典型应用场景，涵盖集成电路原子级工艺与装备、半球谐振陀螺高效率原子级修调技术等领域。

　　半球谐振陀螺（HRG）是下一代高精度惯性导航的核心器件，也是典型的瓶颈战略技术。原子级制造不止于“加工更细”，更在于把谐振子从“宏观合格”推向“微观无缺陷”，从而抑制长期漂移。

　　位于怀柔科学城的北京高端精密加工共享服务平台，以半球谐振子加工为典型应用场景，可依托原子层抛光、离子束等技术，对薄壁球壳进行精细加工，再结合薄膜制备、精密测量和频差修调，能为导航领域相关器件的工程化应用提供技术支撑。

　　为何这些技术成果和创新企业青睐北京、集聚怀柔？北京怀柔仪器和传感器有限公司总工程师刘海锋说，怀柔科学城集聚了大科学装置、科研团队和高端科学仪器企业，既有“造仪器”的科学家，也有“用仪器”的科研需求。企业之间还可以围绕零部件、加工工艺和检测设备展开协作，产业生态逐渐成形。

　　当天，北京原子级制造学会筹建工作正式启动。